Archivo:EUV Best Focus vs Pitch.png
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Resumen
| Descripción |
English: The best focus varies as a strong function of pitch under the same (quasar) illumination (0.33 NA). At 36 nm pitch, horizontal and vertical darkfield features have more than 30 nm difference of focus. The 34 nm pitch and 48 nm pitch features have the largest difference of best focus regardless of feature type. |
| Fecha | |
| Fuente | public domain, IMEC EUVL 2018 Workshop: https://www.euvlitho.com/2018/P62.pdf |
| Autor | Guiding light |
Licencia
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|
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| Fecha y hora | Dimensiones | Usuario | Comentario |
|---|---|---|---|
| 2018-07-27 19:42:45 | 907 × 581 | Guiding light | New information |
| 2017-05-04 12:55:13 | 1079 × 458 | Guiding light | Uploading a self-made file using [[Wikipedia:File_Upload_Wizard|File Upload Wizard]] |
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| Fecha y hora | Miniatura | Dimensiones | Usuario | Comentario | |
|---|---|---|---|---|---|
| actual | 05:05 15 dic 2018 | | 907 × 581 (258 kB) | wikimediacommons>OgreBot | (BOT): Reverting to most recent version before archival |
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